테라헤르츠 기술 및 솔루션 선도기업 테라뷰가 초정밀 테라헤르츠(THz) 비파괴 검사 기술력을 앞세워 글로벌 인공지능(AI) 반도체 및 스마트폰 핵심 공급망에서 연이은 수주 성과를 거뒀다.

테라뷰는 글로벌 탑티어 반도체 파운드리 기업과 스마트폰 공급사로부터 추가 주문을 확보했다고 26일 밝혔다. 주문을 요청한 두 회사는 모두 테라뷰의 초정밀 검사시스템인 EOTPR(전기광학 테라헤르츠 펄스 반사계)을 이미 도입해 사용 중이었다. EOTPR은 1초에 1조 번 진동하는 전자기파인 테라헤르츠파를 이용한 장비다.

글로벌 파운드리 고객사는 수년째 EOTPR을 검사에 활용해왔다. 이 기업은 AI 칩 제조사에 주요 부품을 공급하는 최대 공급업체 중 하나다. 해당 고객사는 2026년 2분기 EOTPR 자동화 기능 추가를 앞두고 있으며, 이에 맞춰 유지보수 계약을 연장했다.

세계 최대 규모의 스마트폰 공급사는 EOTPR 제품을 반복 구매했다. EOTPR은 스마트폰과 폴더블 디스플레이 등에 사용되는 플렉서블 PCB(연성회로기판) 내부의 미세 결함을 제품 분해 없이 검출한다. 또한 범프(Bump) 영역의 접합 불량을 분석하고, 세라믹 패키지 내부를 관통해 최종 실리콘 칩 다이(Chip Die)까지의 전기적 연결 상태를 확인한다. 고객사는 이처럼 다양한 분야의 검사에 최적화된 점에 주목해 반복 계약을 체결했다.

테라뷰 관계자는 "AI 반도체용 패키징이 고도화되면서 EOTPR이 향후 시스템 매출 확대를 견인할 것으로 기대한다"고 말했다. 이 관계자는 EOTPR의 주요 강점으로 ▲HBM 소자 근처의 마이크로 범프(μ-범프) 내 결함 구분 및 균열 검출 ▲기존 2D X선 인라인 장비 대비 우수한 민감도와 성능 ▲TSV(실리콘 관통 전극) 결함의 신속·비파괴적 식별 ▲ATE(자동화 테스트 장비) 검사로는 식별이 어려운 기판의 결함·품질 변화 민감 검출 등을 꼽았다. 그는 "유지보수 매출도 함께 증가할 것으로 본다"고 덧붙였다.

테라뷰 관계자는 스마트폰 공급사의 반복 구매에 대해 "EOTPR 실사용을 통해 확보한 데이터로 기술에 대한 신뢰를 쌓은 데다, 수십 년에 걸쳐 검증된 맞춤형 지원 및 유지보수 역량을 높이 평가받은 결과"라고 설명했다.

돈 아논(Don Arnone) 테라뷰 대표는 "이번에 신규 주문을 확보한 2개 고객사의 기록적인 매출 성장은 포춘(Fortune) 500대 기업에서 전 세계 주요 AI 및 HBM칩 공급업체의 수주 실적에도 반영되어 있다"며 "EOTPR은 AI칩 제조·공급사부터 파운드리 고객사까지 반도체 전 밸류체인에 걸친 다양한 고객사의 수요를 충족시킬 수 있다"고 말했다.

테라뷰는 현재 테라헤르츠 기술의 연구개발과 시장점유율 확대에 박차를 가하고 있다.