코셈은 한빛레이저와 손잡고 대기압 주사전자현미경(SEM) 원천 기술을 활용한 반도체 자동화 검사장비 개발에 나선다고 6일 밝혔다.
회사에 따르면, 이준희 코셈 대표이사와 김정묵 한빛레이저 대표이사는 최근 전략적 업무협약 및 공동개발 계약을 체결했다. 이를 통해 양사는 반도체 자동화 검사장비 개발을 추진한다.
이번 협력은 코셈이 자체 개발한 대기압 SEM 원천 기술과 한빛레이저의 장비 설계 및 자동화 제어 기술을 결합하는 것이 핵심이다. 해당 기술력 기반 양사는 반도체 제조 공정에 적용할 수 있는 인라인 검사장비를 개발한다.
이번 인라인 자동화 장비 공동개발에서 코셈은 대기압 SEM 핵심 기술을 제공한다. 한빛레이저는 장비 구조 설계와 자동화 제어 시스템 구축을 맡는다. 양사는 시제품 개발과 성능 검증을 거쳐 주요 반도체 고객사를 대상으로 파일럿 테스트를 추진한다. 이를 통해 상용화 가능성을 검증할 방침이다.
코셈은 2003년 설립된 주사전자현미경(SEM) 전문기업이다. 기존 SEM은 높은 해상도로 미세 구조를 관찰할 수 있지만 시료를 진공 상태로 만들어야 한다. 검사 전 진공 형성과 웨이퍼 절단 등 별도의 전처리에 많은 시간이 소요됐다.
코셈은 이러한 한계를 보완하기 위해 1기압의 대기압에서도 전자현미경 관찰이 가능한 기술을 개발했다. 이 기술은 산업통상자원부 국가신기술(NET) 인증을 받은 다중창 그래핀 멤브레인 및 다중 홀 구조 관련 기술을 기반으로 한다.
이를 통해 진공 환경을 형성하지 않고도 시료를 관찰할 수 있다. 코셈은 해당 기술을 활용해 300mm 반도체 웨이퍼의 비파괴 검사와 나노미터 수준의 미세 결함 분석이 가능한 장비를 개발할 계획이다.
최근 고대역폭메모리(HBM) 등 2.5D·3D 첨단 패키징 기술이 고도화되면서 미세 결함을 정밀하게 확인하기 위한 검사 기술의 중요성이 커지고 있다.
코셈은 이번 협력을 계기로 기존 데스크톱 SEM 중심의 사업 영역을 반도체 및 첨단 산업용 검사장비 분야로 확대할 계획이다.
이 코셈 대표는 "공정과 구조가 빠르게 변화하는 AI 반도체 시장에서는 기존 검사 방식의 한계를 보완할 수 있는 새로운 기술이 중요해지고 있다"며 "한빛레이저와의 기술 협력을 통해 대기압 SEM의 자동화 장비 구현과 상용화를 추진하고 반도체 제조 현장에서 활용할 수 있는 차세대 검사 솔루션을 선보일 수 있도록 노력하겠다"고 말했다.
