전자현미경(SEM) 기반 융복합 산업장비 전문기업 코셈은 세계 최초 그래핀 기반 대기압 전자현미경(Eirtron) 상용화 기술로 국가 공인 신기술(NET) 인증을 획득했다고 19일 밝혔다.

코셈의 대기압 전자현미경은 전자빔이 발생하는 헤드 영역만 고진공 상태를 유지하며, 시료 공간은 대기압 상태를 유지한다. 1나노미터(nm) 수준의 그래핀 멤브레인을 적용해 공기는 차단하고 전자빔만 통과시키는 방식으로, 기존 전자현미경의 진공 제약 문제를 극복했다.

이 기술은 HBM 첨단 패키징 및 AI 반도체 시장의 핵심 검사 솔루션으로 주목받고 있다. 최근 HBM은 실리콘관통전극(TSV)와 하이브리드 본딩 등 첨단 패키징 공정이 고도화되면서 수십 나노미터 수준의 미세 결함 검출 중요성이 커지는 상황이다.

해당 장비는 별도의 진공 배기 과정 없이 1초 이하(Frame Time)의 검사 속도를 구현하며, 300mm 웨이퍼를 절단 없이 그대로 검사할 수 있어 비파괴·실시간 나노 검사가 가능하다.

이를 기반으로 반도체 생산라인(In-Fab) 환경 내 전수 검사 적용 가능성이 열렸으며, 글로벌 외산 중심의 첨단 검사 장비 시장에서 국산화 수요 대응도 기대된다.

코셈은 대기압 전자현미경 상용화 기술을 통해 기존 전자현미경 중심 사업 구조를 넘어 수익성이 높은 하이엔드 산업용 장비 시장으로 사업 영역을 확대할 계획이다. 

특히 올 하반기부터 글로벌 반도체 대기업 공급망 확대와 함께 바이오 시장 진입도 추진하고 있으며, AI 기반 지능형 자동 분석 솔루션을 결합해 차세대 분석 플랫폼 경쟁력을 강화할 예정이다.

코셈 관계자는 "이번 NET 인증은 코셈 대기압 전자현미경의 기술력이 공식적으로 검증됐다는 점에서 의미가 크다"며 "수익성이 높은 고부가가치 신제품 공급 확대를 통해 글로벌 첨단 분석 장비 시장 내 경쟁력을 강화해 나가겠다"고 말했다.