에이루트 자회사 앤에스알시(NSRC)가 미세공정용 고해상도 반도체 노광장비 관련 기술 내재화에 성공했다고 14일 밝혔다. 

회사는 기존 i-line, KrF 노광장비에 이어 고부가가치 신규 장비까지 제품 포트폴리오를 다각화해 글로벌 반도체 기업 대상 수주 확대에 나선다.

앤에스알시는 반도체 노광장비를 매입 후 고객 요구 수준까지 장비를 고도화해 글로벌 반도체 기업에 공급하면서 독보적인 리퍼비시 기술력을 확보했다. 이를 바탕으로 기존 i-line(아이라인), KrF(불화크립톤) 노광장비에 이어 고부가가치 신규 장비까지 제품 포트폴리오를 다각화했다.

최근 글로벌 반도체 제조기업으로부터 생산라인에 빠른 적용이 가능한 리퍼비시 장비에 대한 수요가 급증하고 있다. 신규 반도체 장비는 테스트 후 가동까지 평균 4개월에서 최대 1년 이상 소요된다. 반면 리퍼비시 장비는 신속한 도입이 가능하기 때문에 반도체 웨이퍼 생산라인 가동 지연을 최소화할 수 있다.

앤에스알시는 신규 고부가가치 노광장비 및 기존 노광장비를 기반으로 글로벌 반도체 시장 공략을 강화할 방침이다. 이를 위해 최근 노광장비 매입을 확대 중이다. 올해부터 미세공정용 고해상도 노광장비 확보에도 나설 것이라고 회사 측은 설명했다.

앤에스알시 관계자는 "글로벌 침체기인 지난해에도 흑자를 달성하면서 제품 포트폴리오 확장을 순조롭게 진행하는 데 성공했다"며 "글로벌 반도체 제조기업향 다수의 공급 레퍼런스를 통해 확보한 신뢰도를 바탕으로 신규 고부가가치 노광장비 관련 수주를 확대해 실적 성장을 가속화할 것"이라고 말했다.

이어 그는 "중국을 비롯한 글로벌 반도체 제조기업들로부터 리퍼비시 장비에 대한 공급 문의가 지속 확대되고 있는 상황"이라며 "최근 매입한 노광장비에 대한 고도화 작업을 신속히 마무리하고 추가 수주 확보에 주력할 것"이라고 덧붙였다.