반도체 장비업체 아이에스티이가 SK하이닉스에 사전 공급한 SiCN용 PECVD 장비의 첫 판매를 성공적으로 완료했다고 12일 밝혔다. 계약 금액은 24억원 규모다.

해당 장비는 반도체 웨이퍼 표면 위에 ‘실리콘(Si), 탄소(C), 질소(N)가 결합된 화합물’ 박막을 증착하는 장비다.

이번 판매 완료는 SK하이닉스의 품질 신뢰성 및 양산 테스트를 모두 통과해 판매로 전환된 케이스로 의미가 크다.

아이에스티이는 이번 공급을 통해 국내 반도체 핵심 공정장비 시장에서 PECVD 장비 국산화의 의미 있는 성과를 달성했다. 

PECVD사업 담당 임원인 진병주 부사장은 “이번 장비는 2023년 말에 납품을 시작해 품질 및 양산 테스트를 거친 결과, 안정적인 성능을 입증하고 양산 적용이 확정됐다”며 “향후 NAND 플래시의 초미세 접합 공정, 패키지 본딩 공정 등을 포함한 반도체 전·후공정 시장 공략을 위해 추가 평가와 고객사 협업을 지속할 계획”이라고 전했다.

이어 “이번에 계약에 이어 추가 판매도 진행하고, 생산성과 안정성이 개선된 차세대 장비 모델 ‘SiRiUSⅡ’를 올해 하반기 개발 완료해 고객사 평가를 추진할 예정”이라고 덧붙였다.

조창현 대표이사는 “국내 반도체 장비 역사에서 국산 PECVD 핵심장비 상용화는 매우 의미 있는 이정표”라며 “국산화를 위해 협력해준 고객사와 어려운 기술적 과제를 성공적으로 완수한 임직원 모두에게 감사의 뜻을 전한다”고 말했다.

또 조 대표는 “이번 데모 장비 상용화는 2030년 6조원 규모로 성장할 PECVD 시장에 본격 진입한 역사적인 성과”라며 “난이도 높은 SiCN 공정에서 기술력을 인정받은 만큼 향후 정상 단가 판매 전환 시 수익성 개선이 예상된다”고 강조했다.