반도체 비전 검사 전문기업 아이비젼웍스가 '꿈의 기판'으로 불리는 유리기판의 최대 난제인 미세 균열(Micro Crack)을 사전에 잡아내 파손을 막는 핵심 검사 기술을 개발했다.

아이비젼웍스는 유리기판 마이크로 크랙 결함 검사 기술에 대한 특허를 출원했다고 2일 밝혔다.

이번 특허는 유리기판의 유리관통전극(TGV, Through Glass Via) 홀 가공 후에 남은 미세 균열을 찾아내는 광학 검사 기술이다. TGV 공정 후 잔존하는 마이크로 크랙은 후공정 과정에서 기판 파손을 유발하는 주요 리스크로 꼽힌다.

아이비젼웍스는 이 문제를 해결하기 위해 신기술 광원과 고해상도 이미징 시스템을 적용했다. 이를 통해 기존 검사 방식으로는 구분하기 어려웠던 미세 결함을 정밀하게 검출할 수 있게 됐다.

업계는 인공지능과 고성능 패키징 시대를 맞아 유리기판 채택이 확대되면서 결함 관리가 품질의 핵심 변수가 될 것으로 보고 있다. 특히 검사 공정의 정밀도가 공급망 신뢰성 확보의 관건이라는 분석이다.

아이비젼웍스는 이번 특허 기술을 바탕으로 유리기판 고객사 레퍼런스를 확보해 글로벌 시장 진입 발판을 마련할 계획이다. 중장기적으로는 검사 기능을 고도화해 고객 맞춤형 포트폴리오를 구축한다는 방침이다.

아이비젼웍스 관계자는 "해당 기술은 유리기판 상업화에 걸림돌이 되었던 마이크로 크랙에 대한 해결책"이라며 "내년 상반기 상용화를 목표로 개발 중"이라고 말했다.

이어 "특허 기술을 기반으로 유리기판 검사 시장에서 차별화된 경쟁력을 확보하고, 차세대 패키징 밸류체인의 핵심 검사 솔루션 기업으로 자리매김하겠다"고 덧붙였다.