반도체 중고장비 유통전문업체 서플러스글로벌은 반도체 제조 공정의 핵심 영역인 원자층 증착(ALD) 공정 기술과 웨이퍼 이송·로딩 기술에 대한 국내 특허 3건 등록을 완료했다고 15일 밝혔다.

이번 특허 등록을 통해 회사는 중고 반도체 장비의 단순 거래를 넘어 장비의 성능과 활용 가치를 높이는 ‘장비 업사이클링(Upcycling)’ 기술 역량을 강화했다는 입장이다. 업사이클이란 중고 제품의 재활용 가치를 높이는 것을 의미한다.

등록된 특허는 ▲‘ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법’ ▲‘ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템’ ▲‘웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템’ 등 총 3건이다.

‘ALD 반응기용 실링시스템 및 실링 해제 방법’ 특허는 반응기 내부 압력을 안정적으로 제어해 공정 신뢰성을 높이는 기술이다. 반응기 상부와 하부 영역 간 압력 차이를 정밀하게 관리함으로써 공정 수행 중 발생할 수 있는 압력 불균형을 최소화하도록 설계됐다. 

이를 통해 장비 개방, 유지보수, 재가동 과정에서 발생할 수 있는 리스크를 줄이고, 기존 장비의 재사용성과 운용 신뢰성을 높이는 데 기여할 것으로 기대된다.

‘ALD 밸브 모니터링 방법 및 시스템’ 특허는 반도체 장비 내 핵심 부품인 밸브의 상태를 AI 기반으로 분석하는 기술이다. 밸브의 개폐 동작, 압력, 유량 데이터를 실시간으로 분석해 이상 징후를 조기에 감지하고 향후 상태를 예측할 수 있도록 했다. 

해당 기술은 장비 이상을 사전에 감지해 예방정비 체계를 고도화하고, 주요 부품의 상태 관리와 장비 수명 연장을 지원하는 기반 기술로 활용될 수 있다.

‘웨이퍼 이송기 감지장치 및 웨이퍼 로딩 시스템’ 특허는 웨이퍼 이송 및 적재 과정에서 정렬 상태를 정밀하게 감지하는 기술이다. 비전 센서를 활용해 웨이퍼 위치와 정렬 상태를 실시간으로 분석함으로써 이송 과정에서 발생할 수 있는 정렬 불량을 신속하게 감지 가능하다.

정렬 불량을 조기에 확인함으로써 장비 재가동 및 공정 적용 과정에서 생산성과 품질 안정성을 높이는 데 도움을 줄 수 있다.

이번 특허 등록으로 회사는 중고 장비를 단순히 재판매하는 기업을 넘어 장비의 상태를 진단하고 개선해, 새로운 활용 가치를 부여하는 반도체 장비 업사이클링 기업으로 기술 포트폴리오를 확장 중이다.

김정웅 서플러스글로벌 대표는 “반도체 장비 업사이클링은 단순히 중고 장비를 다시 사용하는 것이 아니라 장비의 상태를 정확히 진단하고 성능과 활용 가치를 높여 산업 생태계 안에서 다시 쓰이게 하는 과정”이라며 “이번 특허 등록은 서플러스글로벌이 장비 거래 사업과 공정 기술 역량을 함께 강화하는 중요한 계기가 될 것”이라고 말했다.

이어 “확보한 ALD 및 AI 기반 장비 진단 기술을 식각(Etch) 공정 장비 영역으로 확장 적용해 나가고 있으며, 추후 주요 레거시 공정 장비 전반으로 지능화 솔루션을 확대하는 것을 목표로 하고 있다”고 덧붙였다.