에이루트 자회사 앤에스알시(NSRC)가 중국에 이어 대만에서도 반도체 노광장비 수주 릴레이를 이어가며 글로벌 시장 진출에 박차를 가하고 있다.

반도체 장비 사업을 하는 앤에스알시는 대만 반도체 생산 공장(팹)향 110만달러(약 16억원) 규모 'i-line(아이라인)' 리퍼비시 노광장비를 수주했다고 15일 밝혔다. 

앤에스알시는 자체 기술력을 바탕으로 장비를 고도화한 뒤 현지 고객사의 생산 라인에 맞춰 해당 장비를 공급할 예정이다.

앞서 앤에스알시는 중국 반도체 기업과 140만달러(약 21억원) 규모의 미세공정용 고해상도 노광장비 관련 기술용역 계약을 체결한 바 있다. 

이번에 대만에 공급하는 장비는 반도체 웨이퍼 위에 회로 패턴을 형성하는 노광 공정에 적용되며, 다양한 반도체 생산 라인에서 활용도가 높다.

최근 대만과 중국의 중소형 팹을 중심으로 리퍼비시 노광장비 수요가 늘고 있다. 

리퍼비시 장비는 신규 장비 대비 도입 기간과 비용을 대폭 줄일 수 있어, 생산 라인 증설과 전환을 추진하는 중소형 팹에 적합하다는 평가를 받는다. 이에 따라 앤에스알시의 해외 수주 규모도 확대되는 추세다.

앤에스알시 관계자는 "지난해 대만 기업으로부터 수주한 리퍼비시 노광장비를 최근 성공적으로 납품하면서 신뢰도를 쌓아 추가 수주에 성공했다"며 "글로벌 시장에서 반도체 리퍼비시 노광장비 수요가 증가하는 가운데, 검증된 기술력과 다수의 레퍼런스를 기반으로 수주가 본격화되고 있다"고 말했다.

이어 "최근 대만 기업향 295만달러(약 44억원) 규모 리퍼비시 노광장비 납품을 완료한 데 이어 이번에 수주한 장비도 연내 납품 예정인 만큼, 올해부터 반도체 노광장비를 중심으로 한 실적 성장이 본격화될 것"이라며 "이번 수주 외에도 다수 국가의 반도체 기업과 추가 리퍼비시 노광장비 공급을 논의 중인 만큼 후속 수주도 기대된다"고 덧붙였다.