기후에너지환경부(기후부)는 오는 2030년까지 초순수(Ultra Pure Water) 전공정 핵심기자재 90%를 국산화하는 ‘차세대 초순수 생산·공급 및 자립형 생산공정 기술개발사업(2단계)’을 본격적으로 시작한다고 26일 밝혔다.
이번 2단계 사업의 본격적인 출발을 위해 기후에너지환경부는 한국환경산업기술원, 테크로스워터앤에너지, 지앤지인텍 등 공공기관 및 관련 업계와 이달 27일 서울 중구 소재 프레지던트호텔에서 착수회의를 갖는다.
초순수는 반도체, 디스플레이, 이차전지 등 첨단산업 공정에서 웨이퍼와 생산설비를 세정하는 데 사용되는 공업용수다. 극미량의 유기물, 입자, 이온까지 제거해야 하는 고난도 수처리 기술이 필요하며, 첨단 반도체 생산의 안정성과 직결되는 핵심기반 기술로 평가받고 있다.
글로벌워터인텔리전스(GWI)의 발표에 따르면 세계 초순수 시장은 작년 46조5000억원에서 2030년 58조9000억원까지 지속 성장할 것으로 전망된다.
이에 기후에너지환경부는 초순수 산업을 반도체 산업과의 동반성장 기회로 삼고자 지난 2021년부터 1단계 국산화 기술개발사업을 추진해 왔다.
그 결과 자외선 산화장치(UV Oxidation), 탈기막(MDG), 이온교환수지 등 초순수 공정의 핵심 기자재를 국산화하는 데 성공했다. 또한 국내 기술로 개발된 초순수를 SK실트론 구미사업장의 반도체 웨이퍼 생산공정에 공급하고, 지난 19일 기술이전을 완료해 현장 적용성과 신뢰성을 검증받았다.
이번 2단계 사업은 1단계 성과를 기반으로 초순수 생산 전과정의 핵심기술과 기자재 국산화를 확대해 2030년까지 기술 자립화를 완성하는 것이 핵심이다.
국산화 범위를 기존 핵심 기자재에서 초순수 공급 배관 등의 소재까지 넓혀 전과정에 걸친 국산화율을 90% 이상으로 대폭 상향한다. 이와 함께 탄소규제 대응 및 운영비 절감을 위한 저에너지형 초순수 실증설비 설계기술 개발도 병행한다.
특히 기후위기로 인한 산업용수 공급 불안정 우려를 해소하기 위해 하수재이용수를 초순수의 원수로 사용하는 극미량 오염물질 제거기술을 개발, 안정적인 공급 체계를 구축할 계획이다. 아울러 내년부터는 초극미량(ppt, 1조분의 1) 분석기술 개발을 추진해 생산된 초순수의 품질을 정밀하게 평가할 수 있는 분석기술까지 확보할 예정이다.
기후부는 생산·공급·운영·분석으로 이어지는 초순수 산업 전 주기의 국내 기술 생태계가 구축되면 첨단산업 공정의 공급망 안정성과 국가 물산업 경쟁력을 동시에 강화할 수 있을 것으로 기대하고 있다.
김지영 기후부 물이용정책관은 “이번 2단계 초순수 연구개발사업은 단순한 기자재 국산화를 넘어 초순수 생산 전과정의 기술 자립과 지속가능한 공급체계를 구축하는 전환점이 될 것”이라며, “반도체를 비롯한 국가 첨단전략산업의 경쟁력을 뒷받침하고, 국내 물기업의 해외 초순수 시장 진출 기반을 마련하는 계기가 될 것”이라고 말했다.